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只見,光刻室裡此時並沒有一名操作工。

需要流片的矽晶圓片,透過流水線進入一個半密封的洗滌室。洗滌室內有許多自動噴頭,可以全方位的噴灑洗滌藥劑,清洗矽晶圓片的表面。

清洗乾淨的矽晶圓透過烘乾室,自動烘乾,熱風吹拂除塵除異物,負壓吸取異物。完成這道工序,潔淨級別的矽晶圓透過運輸皮帶來到光刻室的主操作間。

這時候,四臺碼垛機器人把這些矽晶圓片取下來,放入托盤中臨時存放。另外有四臺機碼垛器人,從托盤中取出一片矽晶圓片,放入光刻機內,等待光刻機給矽晶圓片曝光。

這一套流程下來,居然不要操作工來完成作業。

陳榮幹震驚了,眼前的這一切讓他無比震撼,“全球最先進的Foundry製程工藝果然不是吹的。這條晶片生產線應該是全球第一,沒有哪一家的生產線比這還要先進。”

不但他這麼想,所有來參觀的技術專家們,此時都是這麼想的。

“哇哦!全自動的晶片生產線。我們的Foundry正在研製,鳴芯製造公司倒是已經搞成功了。”

“我靠!這也太牛了吧!比我們高麗國的水平還要高。”

“這訊息一定要帶回去。我們三新電子一定要做到這一步,否則就會被淘汰的。”

“這是全自動的光刻技術,我們來參觀學習又能看到什麼呢?”

“是啊。我一開始還比較納悶,一鳴集團公司怎麼會如此大方。現在我總算是搞清楚嘍。”

所有前來參觀的技術專家們都在嘖嘖讚歎著。

鳴芯製造公司的這種安排完全是陽謀。已經把全球最先進的一種Foundry製程工藝展現在他們眼前。而他們卻只能看一看熱鬧,卻看不到真正的精髓技術。

倘若沒有懸掛在玻璃櫥窗上的監視器,他們就連那些矽晶圓片的洗滌過程也不會看到的。

雖然有各種監視器把矽晶圓片的光刻過程展現出來,但各種技術引數卻沒有在監視器上顯示,他們還是看不到門道。

相對這些人來說,陳榮乾的技術基礎更差,現在看到的這一切都已經過他的認知範圍之外。他純粹就是來看熱鬧的。

“好!非常先進!不可思議。這難道都是我們國家自己的技術?”陳榮乾的腦海裡僅僅就是這些詞彙。

他已經無法用語言來形容自己的震撼了。

先第一點,他沒有見過碼垛機器人和搬運機器人。不知道智慧機器人能代替人工來完成這些機械式的勞動作業。

其次是,陳榮幹所接觸的晶片生產線都是二手貨,經常需要修一修改一改,根本不能完成這種流暢的作業。

因此,剛才所見到這一切,都已經過了他的認知程度。

就在這時。

負責做嚮導的技術員老劉,拿著話筒開始介紹起來。

“各位來賓。咱們這條生產線所使用的光刻機,就是咱們一鳴集團公司研製的第一臺krF光刻機。為了提高這臺光刻機的工作效率,我們又調整工藝,增加兩種工業機器人來參與作業……”

老劉告訴大家,這條生產線剛剛才除錯成功,正式投產才三天,可能還存在效能不穩定的現象。

即便如此,這種全新的技術還來令人震撼的。

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