第二百七十五章 檢驗

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中科院微電子中心出產的o.8微米工藝光刻機,其光源和光電成像照準系統都是光電所的傑作。作為光電所的一把手,趙院長對光刻機也算是大半個行家了。

只一眼,他就認出了這套光刻機的出身。1995年上半年微電子中心,才完成了o.8微米工藝光刻機的研。產量在那裡明擺著,一共也沒有生產出多少來。沒辦法,中科院當幕後老闆,國內最有可能向這方面展的夢幻集團,都放棄了走技術路線。除非國家上馬積體電路的大工程,否則根本沒有哪個單位吃飽了撐的,會去採購國產光刻機。

國產光刻機的市場佔有率,不光是九十年代,哪怕到了二十一世紀也是個悲劇。魔都微電子號稱2oo9年就實現了9onm光刻機的國產,但是後來國內晶圓廠寧願買國外進口的二手線,也不要他的國產貨。

在光刻機上面,為何神奇的兔子能造就白菜定律,卻偏偏不起作用了?這一點也不奇怪,因為一是核心裝置沒掌握,尼康卡你的脖子。二是光刻機的良品率上不去,產品便宜的再多架不住生產成本高。

當然,魔都微電子不管怎麼說,總還是做了一猩績的。周碩雖然心裡惋惜,但也明白國產光刻機不行,不是它一家的問題。

總之這年頭中科院微電子中心能賣出去的光刻機可謂是鳳毛麟角,而其中的光電裝置只一眼趙院長就看出來確實是出自自家之手。

不管研究成果如何,這起碼說明周碩確實在實打實投入的研究技術。趙院長看向自家產品的眼神,自然也就溫柔了許多。

“這套裝置說起來,還是我在光電所的時候親手製作的。”麻友公站在趙院長的身邊,感慨的說道:“院子,不論泛翰研究院的水平如何,起碼他們確實是在踏踏實實的做技術。就這一點上來說,也不應該對他們太過苛求了。”

“哼。你現在是人家的工人了,當然替東家說話。”趙院長有些傲嬌的哼哼著,眼睛卻在光刻機上怎麼也挪不開。

他收斂了一下脾氣,好奇的問道:“這就是你們改進的o.5微米工藝光刻機?究竟做了哪些改進?”

“我們改進了……”麻友公開了個頭。突然停頓了一下,無奈的搖頭道:“我和研究所簽了保密協議的,具體技術不能說。”

“德行。”趙院長撇了麻友公一眼,看的他渾身不自在。沒辦法,他這一身本身可以說,多半都是來自趙院長的傳授。如今老師問他這點問題,自己卻表現的好像什麼重大機密似的,難免有些心虛。

趙院長卻沒有多做計較,只是在光刻機前前後後的打著轉,就不信自己的眼力還看不出來有什麼不同。

其實雖然麻友公這多少算是叛出師門。但趙院長心底裡卻並不怎麼怨他的。一是光電所這些年來,確實有些對不起麻友公。二一個,心裡多少也希望自己的徒弟能有一個好的歸宿吧。

從這方面來說,他其實也理解麻友公保密的做法。假使改進技術真的有效,這裡面涉及到的可是數以億計的金錢。泛翰研究院是私人公司。當然不可能讓人敞開了看。

就在這時,光刻機前的指示燈突然從紅色轉換成了綠色,並且出了一道短促的“嗶——”聲。

一張直徑的晶圓碟片,從光刻機裡被機械臂穩穩的送了出來。

“這是！”趙院長哪裡會不知道這是怎麼回事,光刻機裡吐出來的晶圓表面上看並沒有什麼不同,但他知道這已經是經過了光刻的碟片。

此時這張碟片上面的光刻膠,應該已經被蒸了一部分。只要再把這張碟片送入蝕刻機。就可以根據光刻的路徑蝕刻出積體電路。

在場的所有人,除了保安部的安保人員以外,幾乎個個都和光刻機系統扯得上關係。自然也就都明白,泛翰研究院是否已經掌握了o.5微米工藝,答案就在這一刻了。

“諸位,我們泛翰研究院究竟有沒有掌握o.5微米工藝技術。大家此時此刻可以拭目以待了！這張單晶矽晶圓是我們改造之後的第一次光刻,我請你們記住1995年1o月7日這個光榮的日子……”

周碩幾乎是虔誠的,把晶圓從光刻機轉移到蝕刻機上面,並且毫不遲疑的啟動了蝕刻程式。

只是此時此刻,似乎所有人都已經忘記了他們的初衷。只是全神貫注的看著那薄薄的單晶矽晶圓。心中卻已經有些相信泛翰研究院已經實現了o.5微米工藝。

問題很簡單,若非是有十足把握,周碩又怎麼有這個勇氣,在眾人面前完成蝕刻程式?甚至有的人心裡已經打起了小算盤,按照國內的傳統,說不定是已經有了成功經驗之後,才玩的這個出爐把戲吧。

不管如何,周碩胸有成竹的模樣,都讓他們的態度在不自覺間生了變化。

和光刻程式比起來,蝕刻的度就快多了。幾分鐘之後,酸液已經把沒有光刻膠覆蓋的地方,腐蝕出了只有零點零幾微米的微痕。微小到不論是人的肉眼、或者是普通的放大鏡都無法覺的地步。

當然,以蜂巢實驗室裡面的裝置,有大把大把的方法可以對其進行觀察和測量。

至少在1995年的積體電路製造水平,o.5微米的線寬,一部光學顯微鏡就已經足夠、足夠。

趙院長看了自己得意弟子麻友公一眼,微微嘆了口氣。他站出來,自報奮勇道:“周先生,我來對這張晶圓進行測量,沒有問題吧?”