第一百三十二章 提前截胡臺積電

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這麼多困難，我們照樣克服了，最終KrF光源代替了g線和i線，成為了今天的最先進的製程光源。

同樣未來短波長的光源勢必然會代替長波長的光源，這是技術進步的必然。

我們剛剛討論的困難只是暫時的困難。”

ASML、尼康和佳能只是暫緩了在ArF上的投入，而不是停止了在ArF技術路線上的投入。

後來ASML實現彎道超車，也是因為他們選擇了正確的技術路線，ArF光源以水為介質，在光刻膠上面抹一層水。

水的介質折射率是1.44，193奈米÷1.44≈134奈米，ArF光源的波長進一步減少了。

ASML能夠幹掉尼康和佳能，壟斷光刻機領域，他們在技術路線的兩個關鍵節點都做出了正確的選擇。

應該穩健的時候他們比尼康穩健，從而在光刻機市場站穩了腳跟。

應該激進的時候他們比尼康激進，從而佔據了高階市場，把高額利潤全部吃掉了，後續一直保持住了技術領先。

ArF技術路線突破之後，ArF的波長是193nm，他最多能夠製造65nm的晶片。

如果要製造40nm製程以下的晶片，需要找到160nm以下的光源。

尼康和佳能等企業選擇的是157nm的F2鐳射，而ASML找到了光源做介質直接一步到位了。

當然沒有加一層水那麼簡單。

“我關於ArF技術路線一直認為是有辦法解決的。

首先是需要專門針對ArF光源設計對應的光刻膠，其次是研發抗反射塗層，然後是改進光刻機的光學系統，找蔡司定製更先進的透鏡。

來實現更高的數值孔徑和解析度。

同時在曝光過程中進行最佳化。我專門針對ArF光源設計了一套解析度增強技術。

包括輔助特徵、離軸照明、雙曝光技術等，用以改善圖案傳輸質量和提高解析度。”林本堅很興奮，難得見到這麼懂ArF技術的同行。

其他懂這玩意的都簽了保密協議，林本堅和他們聊的很不盡興。

華國差的不僅僅是光刻機，差的是整個高階製造業，即便能造出光刻機，光學鏡頭也能卡你脖子。

不過蔡司是德意志企業而且沒上市，阿美利肯的長臂管轄管不到蔡司。

周新聽完之後感慨對方不愧是大師級人物，還沒有加入臺積電已經有完整的計劃了。

同樣一件事，有的人是紙上談兵，有的人是決勝千里之外。

華國價值觀以結果為導向，周新知道林本堅未來的成就，更別說林本堅說的這些都是絕對的乾貨。

又和林本堅探討了一番ArF技術路線的未來後，周新問：“林伯，我打算成立一家光刻機公司，我需要真正懂行的人來幫我。

你有沒有意願來幫我做事，我給你的職位是研發主觀。

首批研發資金十億美元，我給你百分之二十的股份，但是你加入之後需要籤競業協議，同時我們的光刻機公司會放在華國。”

林本堅聽完前半句話想馬上答應下來，十億美元的研發資金，百分之二十的股份。

這是何等的信任，光是十億美元的研發資金，這家企業也最少值10億美元。

直接就是給你兩個億。

聽完後半句他心一涼：“Newman，我知道你是華國人，希望幫助華國在半導體領域有所發展。

我也是華裔，在有能力和有機會的前提下，我同樣希望為華國的半導體行業發展進步貢獻自己的力量。

但是光刻機的研發，非常依賴於和晶片製造廠商之間的合作。

華國沒有什麼成熟的晶片製造廠商，我們把研發基地放在華國，很難有所進展。

不管我是否答應你的條件，我都建議你放在彎彎或者阿美利肯。

彎彎有臺積電，阿美利肯有英特爾的晶片代工廠。

在這兩個地方，你才有機會把你的產品在生產環境中經過充分的實驗。”

ASML的研發中心遍佈全球。

周新說：“世大半導體的張汝京在籌備回華國成立晶片代工廠的事情。

他們的選址、資金和團隊都已經就位了。

我們前期籌備階段和實驗室研發階段，這個時期是不需要和代工廠合作的。

我們的進度會比張汝京那邊的進度更慢，等到我們的實驗室產物研發出來之後，正好可以送到他們那裡去進行驗證。