芯片程序里预设了这个目标。
电机继续转,读数头一路跟着,脉冲信号不断反馈回芯片。
数字表上的数字一路跳。
…………………………
越来越接近oooo。
最后停在毫米。
误差微米。
三个人盯着那个数字,谁都没说话。
示波器上,波形还在跳,方波整整齐齐,一列一列,像士兵的脚步。
电机嗡嗡地响着,声音低沉稳定,像一头刚刚被驯服的野兽。
诸葛彪咽了口唾沫,烟叼在嘴角,半天没点。
“再试一次。”他说,声音有点哑。
吕辰把目标改成ooo毫米。
电机又转起来,丝杠嗡嗡嗡,读数头一路向上,停在oo毫米。
误差还是微米。
钱兰轻轻吸了一口气:“精度够了,gca-ocgs光刻机工作台的要求,就是正负五微米,这远远达到了要求。”
吕辰又拨了一个数字,目标o毫米。
电机轻轻一抖,丝杠几乎看不出动,读数头微微挪了一点点。
数字表从oo往下跳:oo………………
最后停在ooo毫米。
移动量ooo毫米,微米。
诸葛彪把烟叼上,没点,就那么叼着,愣愣地看着那个数字。
“成了。”他说,烟在嘴角抖了抖,“真成了。”
钱兰长长地吐了口气,肩膀塌下去,整个人像被抽走了骨头。
吕辰站着,盯着那个数字,看了很久:“再试一次。”
诸葛彪又试了一次,目标改成o毫米。
电机转,滑块走,停在——毫米。
误差两微米。
“再试。”
目标oo毫米。
电机轻轻一抖,滑块几乎看不出动,数字表慢慢跳,最后停在oooo毫米。
误差零。
三个人盯着那个数字,谁都没说话。
过了很久,诸葛彪把烟点上了。
他狠狠吸了一口,然后吐出来,烟在空气中慢慢散开。
他指了指那个还在转的电机:“森格顿珠师傅走早了,他应该亲自见证。”
钱兰笑得眼睛有点红:“我写信告诉他。”
接下来几天,他们又搭建了一个更复杂的模拟系统。
一张两尺见方的铸铁平板,上面架着x轴和y轴两个滑台。
每个滑台都由一个电机驱动,丝杠传动,光栅尺反馈。
x轴行程oo毫米,y轴行程o毫米。
他们把长光所送来的两把光栅尺都装上了,x轴一把,y轴一把。
重新焊出来两个驱动板,每块板子上一个gpc-o芯片,专门控制一个轴。
控制程序写在二维卡上。
oo的点位里,存着工件台的初始位置参数,然后是一串指令:
x轴正向,移动o毫米,停秒。
x轴正向,再移动o毫米,停秒。
重复次。